南阳清水科技有限公司是一家专业从事研发、生产、销售各类真空镀膜设备的高新技术企业。公司自成立以来，根据市场需求，形成了STAR蒸镀、JS磁控溅射两大系列镀膜机产品，已销往国内外市场，受到客户的广泛认可。

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深圳市英能电气有限公司是一家集真空镀膜电源/PVD镀膜电源的研发、生产与销售为一体的高科技企业，主要产品：中频磁控溅射电源、单极性脉冲偏压电源/双极性脉冲偏压、直流偏压电源、直流磁控溅射电源、单极性脉冲磁控溅射电源，阳极电源、离子源电源、弧电源、高功率脉冲磁控溅射电源，HIPIMS电源,PECVD电源,离子渗电源,离子加速电源等。已获高新技术企业、iso9001认证，拥有专利多份。产品已获得ce、rohs认证。专注提供真空镀膜电源及工业控制领域的解决方案。

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Ai350HT型离子注入机采用成熟的光路单元技术。光路系统主要包括离子源、引出系统、质量分析器、磁透镜、加速管、静电扫描、平行透镜、靶室和片库等。配置高温加热靶台，金属Al离子源，全自动晶片传输系统。